目前電液伺服閥的代表性產品有噴嘴擋板式、射流管式、動圈式（VCD式）、高頻直動電磁鐵式等類型，主要發展動向是產品多樣化、高可靠性和高動、靜態特性。

(1)直動型電液伺服閥用永磁式力馬達、動圈式力馬達(VCD式)或高頻電磁鐵驅動閥心，其位移由位置傳感器進行檢測，由內置電子線路對主閥心進行閉環控制。該閥具有耐污染能力強、可靠性高等優點，已開始得到廣泛應用。

(2)射流管式雙級電液伺服閥的主閥心位移用差動變壓器進行反饋，由內置電子放大器對閥心進行閉環控制。耐污染能力強，而且具有故障保險功能，當意外斷電時，可保證設備處于安全位置，廣泛用于品和汽輪機等主機。

(3)噴嘴擋板力反饋和電反饋的雙級電液伺服閥。其中電反饋噴嘴擋板閥的第二級主閥由差動變壓器進行位置反饋，提高了閥的頻響和減少了波形失真度。大流量伺服閥標準的雙級噴嘴擋板閥控制三級閥心，閥心由位移傳感器進行反饋。

(4)內置放大器的電液伺服閥可提高電液伺服系統的工作可靠性，減少因接插件故障使系統失效，同時可適用于分散控制系統，便于安裝維護。

(5)用新材料提高產品壽命。德國有關公司用紅寶石材料制作噴嘴擋板，防止因氣饋造成擋板和噴嘴的損傷，而降低動靜態性能，使工作壽命縮短。機械反饋桿頭部的小球也用紅寶石制作，防止小球和閥心小槽之間的磨損，使閥失控，并產生尖叫。隨著現代制造技術的不斷提高，伺服閥的關鍵零件閥心和閥套都采用電加工，線電極切割加工方孔（控制刃邊），從而使所生產的閥的直線性、死區、滯環都達到輸入信號的0.2%～0.5%之間。

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